气体循环冷却罗茨真空泵（简称气冷罗茨泵）主要由转子1、转子2、泵体4、冷却器7 等组成，由于在泵的排气口安装了冷却器，可不断将泵体及转子等进行冷却，确保泵可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行。

冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔，使泵不会因压缩气体而出现过热，但对泵的抽气性能没有任何影响。右图Ⅰ至图Ⅴ 是转子在泵腔内旋转并完成一次吸、排气的过程。

冷却器和电机是每台气冷罗茨泵必备的附件，冷却器和电机的规格是根据不同的工况而定。气冷罗茨泵可以单独使用也可以多台串联使用，或与液环真空泵或普通罗茨真空泵串联成机组， 达到更高真空度来满足各类工艺要求。

•    气冷罗茨泵可以单独使用也可与前级泵串联组成真空机组，节能效果显著。与普通罗茨真空泵相比，因可高压差工作，可适当减小前级真空泵而达到节能效果。
•    单台气冷罗茨泵直排大气时的最高真空度可以达到150mbar。
•    多级气冷罗茨泵串联或与液环真空泵串联后可以达到中真空范围。
•    特殊结构设计确保气冷罗茨泵在高压差和高压缩比时不会过热过载。
•    可直排大气，无废水排放。
•    可在更高的入口压力下工作，理论上可以在入口为大气压的状况下工作。
•    电机功率不确定，可根据工艺条件计算实际工作时的最大压差从而确定所需的电机功率。
•    良好的动平衡试验和高精度机械加工确保产品运转平稳、安静。
•    先进的平衡式机械密封使气冷罗茨泵的密封性能更优越。
•    泵腔为无油结构，适用于抽除一般空气及各种特殊气体。
•    与其它机械真空泵比较，节能效果显著。